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隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展，特氣設(shè)備越來(lái)越多的應(yīng)用于IC芯片生產(chǎn)、鍍層、實(shí)驗(yàn)室科研等項(xiàng)目中。很多用戶(hù)在進(jìn)行特氣設(shè)備的規(guī)劃時(shí)候，受限于氣房空間、位置、需求等多方面要求而不能合理規(guī)劃布局，遇到了很多問(wèn)題，為日后的產(chǎn)品使用增加了風(fēng)險(xiǎn)和擴(kuò)充難度。特種設(shè)備是指涉及生命安全、危險(xiǎn)性較大的鍋爐、壓力容器（含氣瓶，下同）、壓力管道、電梯、起重機(jī)械、客運(yùn)索道、大型游樂(lè)設(shè)施和場(chǎng)（廠）內(nèi)專(zhuān)用機(jī)動(dòng)車(chē)輛。其中，特氣設(shè)備不僅涉及生命安全，其對(duì)環(huán)境、運(yùn)行穩(wěn)定性等要求都非常高。本文就絕大多數(shù)用戶(hù)遇到的難題，結(jié)合規(guī)范做以較為標(biāo)準(zhǔn)化的布置建議。

特氣設(shè)備：

特種設(shè)備是指涉及生命安全、危險(xiǎn)性較大的鍋爐、壓力容器(含氣瓶)、壓力管道、電梯、起重機(jī)械、客運(yùn)索道、大型游樂(lè)設(shè)施和場(chǎng)(廠)內(nèi)專(zhuān)用機(jī)動(dòng)車(chē)輛這八大類(lèi)設(shè)備。為保障特種設(shè)備的安全運(yùn)行，國(guó)家對(duì)各類(lèi)特種設(shè)備，從生產(chǎn)、使用、檢驗(yàn)檢測(cè)三個(gè)環(huán)節(jié)都有嚴(yán)格規(guī)定，實(shí)行的是全過(guò)程的監(jiān)督。據(jù)《2013-2017年中國(guó)特種設(shè)備檢驗(yàn)檢測(cè)行業(yè)市場(chǎng)前瞻與投資戰(zhàn)略規(guī)劃分析報(bào)告》統(tǒng)計(jì)，截至2011年底，全國(guó)特種設(shè)備綜合性檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)已達(dá)到545家，包括質(zhì)檢部門(mén)所屬檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)、行業(yè)檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)及企業(yè)自檢機(jī)構(gòu)，另外還有型式試驗(yàn)機(jī)構(gòu)、無(wú)損檢測(cè)機(jī)構(gòu)、氣瓶檢驗(yàn)機(jī)構(gòu)等

特氣設(shè)備屬于特種設(shè)備的一大類(lèi)，根據(jù)用戶(hù)的實(shí)際用氣種類(lèi)和需求可能包含有：

GC 特氣氣瓶柜

GR 大宗or普通氣瓶架

Local Scrubber 本地式廢氣處理柜（電加熱+水洗復(fù)合型 可定制單功能）

VMB、VMP等各類(lèi)氣體分配設(shè)備

GP項(xiàng)目典型氣瓶間

特氣系統(tǒng)，尤其是集中供氣系統(tǒng)引入國(guó)內(nèi)的時(shí)間并不長(zhǎng)，相應(yīng)的設(shè)備、施工方法、經(jīng)驗(yàn)多是從歐美等發(fā)達(dá)國(guó)家延伸而來(lái)。我們可以參考美國(guó)ASTM給出的相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)，目前國(guó)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)也在逐步完善當(dāng)中。隨著半導(dǎo)體行業(yè)如火如荼的發(fā)展，越來(lái)越多的特氣設(shè)備也引入我們自己的生產(chǎn)線中，在多設(shè)備引入時(shí)建議不相容GR應(yīng)布置在不同房間里，當(dāng)由于條件所限布置在同一房間時(shí)，GR之間的距離應(yīng)大于6M。同時(shí)具有可燃性和毒性的氣體設(shè)備應(yīng)該放置在可燃性氣體間。GR、GC、Scrubber等設(shè)備宜靠墻布置，具有相同性質(zhì)的設(shè)備應(yīng)該布置在一起。特種氣體房間內(nèi)的中間通道寬度不得小于2M。GC與墻體之間的距離宜大于0.1M，GC之間距離宜大于0.1M。各類(lèi)設(shè)備布置應(yīng)該預(yù)留維修和運(yùn)轉(zhuǎn)空間。長(zhǎng)管拖車(chē)、ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組等大型設(shè)備宜放置在室外空曠平地。

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