發(fā)布時(shí)間：2022-10-19 | 游覽：4433
內(nèi)容摘要：特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部分是腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體。
特種氣體(Specialty gas )主要有 SiH4、PH3、B2H6、A8H3、CL、HCL、CF4、NH3POCL3、SIH2CL2、 SIHCL3、NH3、BCL3、SIF4、CLF3、CO、C2F6、N2O、F2、HF、HBR、SF6……等等大部分是腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體。
針對(duì)腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計(jì)將鋼瓶置于特氣柜(Gas Cabinet)內(nèi)，再通過管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場(chǎng)附近的閥門箱(VMB, Valve Manifold Box)，而后再進(jìn)入制程機(jī)臺(tái)的使用點(diǎn)(POU, Point of Use)，于進(jìn)入機(jī)臺(tái)腔體之前，會(huì)有獨(dú)立的氣體控制盤(GB, Gas Box)與制程控制模塊聯(lián)機(jī)，以質(zhì)流流量計(jì)控制器(MFC, Mass Flow Controller)進(jìn)行流量之控制與進(jìn)氣的混合比例控制，通常此氣體控制盤不屬于廠務(wù)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)范疇，而是歸屬制程機(jī)臺(tái)設(shè)備的一部份。一般的惰性氣體則是以開放式的氣瓶架(Gas Rack)與閥門盤(VMP, Valve Manifold Panel)進(jìn)行供應(yīng)。
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